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严利人
副研究员
  • 领域:节能与新能源汽车
  • 类别:
个人简介
评价案例
1990年毕业于清华大学电子工程系半导体专业,1992年于清华大学微电子研究所获得微电子专业硕士学位,1992年后在清华大学微电子所工艺室从事研究工作,在测试、氧化扩散、光刻、工艺设备、流程管理等方面具有多年实践经验,现从事工艺分析诊断、光刻工艺设备及工艺、vlsi自动化制造和cims系统等方面的研究,在工艺流程开发、自动流程卡生成、自动工艺调度等方面发表研究论文若干
  • 成果名称
  • 成果编号
  • 成果水平
  • 发布日期
  • c9242
  • 国际先进
  • 2019-04-28
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